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水滴角測(cè)量?jī)x在光伏行業(yè)硅片中的清洗應(yīng)用說(shuō)明

光伏行業(yè)硅片清洗又被稱為制絨，是通過(guò)化學(xué)品腐蝕硅片表面，使其受光面積增大，反射率降低的一種技術(shù)。硅片酸洗后需要水沖洗--烘干，轉(zhuǎn)換成氧化膜；根據(jù)氧化膜的親水性原理，利用接觸角來(lái)測(cè)試水滴的大小，來(lái)判定氧化膜的是否達(dá)到要求。

接觸角測(cè)試儀的原理：液滴在固體的表面達(dá)到平衡時(shí)，在氣、液、固三相交界處，氣液界面和液固界面之間的夾角稱為接觸角。

根據(jù)原理，表面張力越大（即親水性），水滴在固體表面形成的夾角越?。槐砻鎻埩υ叫?，水滴在固體表面形成的夾角越大；由此，該水滴角應(yīng)用于硅片清洗后的氧化膜效果判定上；

水滴與氧化膜接觸，角度越小代表氧化膜親水越好，氧化膜的質(zhì)量越好；

為了提供測(cè)試效率及驗(yàn)證概率問(wèn)題，在測(cè)試硅片時(shí)，會(huì)采取多點(diǎn)測(cè)試五點(diǎn)測(cè)試（四邊一中），北斗儀器全自動(dòng)接觸角測(cè)試，設(shè)定參考值，自動(dòng)判定結(jié)果，并且由數(shù)據(jù)全程記錄。

目前測(cè)定接觸角的方法有多種，一般分為二類。一類是直接法、即直接測(cè)量接觸角的大??；另一類是間接法、即通過(guò)其它物理量的測(cè)定以及該物理量與接觸角之間的定量關(guān)系來(lái)計(jì)算出接觸角的大小。常用測(cè)定物理量是長(zhǎng)度及質(zhì)量。第—類方法精度由測(cè)角器所決定；第二類則不但由測(cè)定長(zhǎng)度或質(zhì)量的儀器精度，而且還由它們間的定量關(guān)系式的準(zhǔn)確度所決定。

1、長(zhǎng)度測(cè)量法

直接法測(cè)口往往要先確定切線的位置，要做到準(zhǔn)確就比較因難。采用長(zhǎng)度測(cè)量法便能避免之。例如將液滴滴在固體表面上并拍下照片，只要測(cè)定液摘與平面接觸面的半徑和其高度。

2、直接測(cè)量法

這是廣泛使用的方法，它是將掖滴直接滴在固體表面上或者在固--液界面上吹入一小氣泡，直接或先拍下照片后再用量角器定接觸角。如果固體是板條則可用斜板法測(cè)定：將試樣板浸入液體中，侵慢使板傾斜至板面一邊的液體呈水平，插入液體部分的板面與液面所成的角即為接觸角。用測(cè)角器讀取口的方法可得到精度為土1度。

3、重量測(cè)量法

它是利用測(cè)定表面張力的平板法來(lái)測(cè)定。上述都是測(cè)量固體平面值的方法，對(duì)于固體粉末，先將固體粉末壓制成一多孔塞，測(cè)定將液體圧入(不潤(rùn)濕固體粉末)或者壓出(潤(rùn)濕固體粉末)所需的壓力，就可計(jì)算出來(lái)。